通過藍寶石襯底的氧自由基預處理O型極性氧化鋅外延薄膜的控制生長
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：21 一月 2014
- 作者 Cloudy
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氧自由基生長前處理和表面氮化被用來消除鋅極性反向域和由射頻等離子體輔助分子束外延控制單域O型極性的氧
化鋅膜的生長在藍寶石襯底上。發現之前氮化形成氧終止藍寶石表面是在隨後的氮化鋁和氧化鋅層實現陰離子極性至關重要的，具體表現為氧化鋅的增長和易地極性測定過程中形成3×3的表面重建。該方法中，在一般情況下，可以應用到其它極性膜，如II-VI族的氧化物和第III-V氮化物，在藍寶石襯底上生長的影響。
高質量的氧化鋅薄膜已被生長在藍寶石襯底上的原子層外延用二乙基鋅（ALE）方法（生長源）和水分子作為反應氣體，在170襯底溫度和400℃。為了研究退火處理對氧化鋅薄膜的光學特性的影響，薄膜已經被退火的沉積後的各種退火溫度。退火處理後氧化鋅薄膜的光學性能進行了表征光致發光（PL）。與在可見區域中的弱缺陷帶發射甲強自由激子發射，觀察在室溫（RT）。全寬的67.54兆電子伏的自由激子發射的半最大值（FWHM）測量已在室溫下。基於該PL光譜在室溫的溫度範圍從10 K的溫度依賴性，已經表明，薄膜的結晶質量會隨著退火溫度的增加而增加。此外它表明，當樣品被沉積在170℃下退火，在1000℃下獲得最佳結果。
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