藍寶石襯底的輕微取向差對氮化鎵金屬有機化學氣相沉積生長的影響
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：16 一月 2014
- 作者 Cloudy
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輕微的取向差，從C面藍寶石（α - Al2O3）的氮化鎵表面形貌和電致發光底物的影響（ EL）的性能進行了研究。用
下通過有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）大氣壓的兩步生長法在氮化鎵層生長。當周圍使用0.17 °傾斜朝向兩個方向的取向錯誤的藍寶石襯底，小階梯型的形態出現。在另一方面，使用C-普通基材或基體錯配度比從c面約0.25度較大，出現鱗片狀的形態。還發現在襯底的取向差顯著影響EL圖像的均勻性。另一方面，發光二極管（LED）的光輸出功率的制作在襯底上用不同的錯誤取向幾乎相同，盡管在不同的表面形貌。
氮化鎵構成上具有氧化矽掩模藍寶石襯底被證實和特征通過透射電子顯微鏡和雙晶X射線衍射。氮化鎵構成的連續層具有低的位錯密度是通過這種方法實現的。在氮化鎵層的部分被對稱地傾斜的朝向的方向和具有兩種聚結和傾斜界限。每個邊界是由堆積位錯用的柏氏矢量垂直陣列形成。在外延傾斜機構設置在氧化矽掩模和ELO氮化鎵之間的表面相互作用的角度來討論。
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