Molybdenum News Center

藍寶石絨面氧化鋅薄膜的化學溶液沉積製作

極富質感的氧化鋅薄膜的化學溶液沉積產生的基面藍寶石襯底。薄膜的取向生長均通過旋塗來實現的乙酸鋅二水合物和乙醇胺中的2 - 甲氧一個0.75M的前體溶液，在300 °C/10分鐘的加熱，然後以500℃ / 5小時，最後在850℃ / 12小時。膜，其特徵在於用X-射線衍射（XRD）和掃描透射電子顯微鏡。該薄膜具有唯一的氧化鋅線的X射線衍射圖，證明是一個非常發達外的平面紋理。在溫度高於700℃的尖晶石ZnAl2O4覆蓋層觀察，其形成為藍寶石和氧化鋅之間的反應層。一些標本無論是在面內和麵外氧化鋅對基面的藍寶石定向生長產生的。據推測，在襯底斜切的，不受控制的當前的實驗中，可以是外延膜的生長不頻繁的原因。

出現了在高品質的氧化鋅薄膜的興趣增加在應用，例如在高頻率的聲表面波濾波器，緩衝層為氮化鎵生長，透明和導電電極，並且固態雷射器不同範圍的使用。在本文中，氧化鋅薄膜的外延生長溫度範圍為350-450 ℃，生長在R面藍寶石襯底金屬有機物化學氣相沉積X-射線衍射和電子顯微鏡結果表明，該氧化鋅薄膜上外延生長的Al2O3表面與平行於表面的平面。在作為生長膜的橫截面高分辨透射電子顯微鏡成像顯示，該介面是半相干與原子銳利，與失配位錯減輕氧化鋅和藍寶石之間的失配應變。為了檢查作為生長的氧化鋅薄膜，退火中的氧氣+氮氣氣氛中的熱穩定性，在850 ℃下進行30分鐘進行。退火後的薄膜表現出改進的結晶。在同一時間，氧化鋅和藍寶石之間的有限的反應發生，導致了15-20納米厚的尖晶石層在介面處的形成。


鉬產品詳情查閱：http://www.molybdenum.com.cn
訂購電話：0592-5129696 傳真：0592-5129797
電子郵件： Email住址會使用灌水程式保護機制。你需要啟動Javascript才能觀看它
鎢鉬文庫：http://i.chinatungsten.com
鎢新聞、價格手機網站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
鎢新聞、鎢價格：http://www.chinatungsten.com

• < 上一頁
• 下一頁 >