氮化鋁薄膜形貌和表面聲波測量的藍寶石
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：09 十二月 2013
- 作者 Cloudy
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鋁氮化物外延膜已生長於R-平面藍寶石襯底上，並研究其壓電性能，適用於聲表面波器件中的應用。此報告該膜是
由三甲基鋁與氨氣在氫氣的存在下反應涉及到使用生長作為生長爐氣體注入系統在化學氣相沉積工藝中，約1200 ℃的溫度下，提高了epireactor的表示該氣體流動到襯底上，在500埃/分的生長率來實現的厚度為10微米的薄膜產生的表現出優異的機械和化學穩定性。 R面， Al和O和重複O型的Al- O鍵， Al-O鍵鍵由交替藍寶石層。
在原子的兩個不同的層，鋁原子的密排結構，和氧原子被對準到柱方向。的含Al和N原子的密排面的AlN六方纖鋅礦結構的方向，但共面分隔成列對齊。時（即，在相同方向上與AlN點C的藍寶石的c軸方向的投影，得到既在R平面的良好貼合面的取向軸） ，並給出了藍寶石和AlN線原子的列方向沿著穿過晶格失配的方向2.7%、11.9% 。
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