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鉬靶材焊接方法

一種鉬靶材焊接方法，包括以下幾個方面：
1） 提供鉬或鉬合金靶材、背板和焊料；
2） 對鉬或鉬合金靶材的結合面進行鍍鎳處理；
3） 對所述鉬或鉬合金靶材進行預熱，使焊料分布在所述鉬或鉬合金靶材的結合面；
4） 對所述背板進行預熱，使焊料分布在所述背板的結合面；
5） 使所述鉬或鉬合金靶材的結合面與所述背板的結合面貼合並進行焊接，形成靶材組件；
6） 冷卻靶材組件。
根據該項鉬靶材焊接方法，可以使鉬或鉬合金靶材與背板、尤其是銅背板以較高的強度結合在一起，滿足濺射工藝的高強度要求。而且，即使在靶材面積較大的情況下，也能夠有效地抑制靶材組件、特別是鉬或鉬合金靶材發生較大的變形、翹曲等。

鉬管靶材

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