一種鉬合金靶材的制作方法

鉬合金靶材,成本低廉,主要應用於平板顯示器等領域。介紹一種鉬合金靶材的制作方法,其特征在於使用金屬鉬粉與其它金屬粉通過機械合金化的方式獲得合金粉體,合金粉體後處理,即得。具體包括如下步驟:首先將鉬粉和鈮粉裝入模具中混合,其中按重量計Mo粉:Nb粉=5~15:85~95,然後將模具放入燒結爐中升溫至900~1100℃,保溫60~180分鐘,然後升溫至1900~2200℃,保溫60~180分鐘,升溫過程中通入氫氣進行保護,在升溫的同時開始加壓,壓力為1~3噸,當溫度到達1850~2000℃時,升壓到4~7噸,在2000~2200℃時保壓4~7噸,直到保溫結束,保溫結束後降溫降壓,然後出爐脫模即得鉬鈮合金靶材。

鉬合金靶材圖片 
鉬合金靶材
鉬-鈮合金靶材圖片
鉬-鈮合金靶材

 

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