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藍寶石晶圓上的禁區

什麼叫做藍寶石晶圓上的禁區？在磊晶，LED材料不正確形成在這一領域，這意味著這些芯片應該不會被計算，因為它們不會產生良好的發光二極管。對於我們的LED芯片的計算器，我們使用的是業界標准的3毫米禁區，這是顯示為紅籌所示。需要注意的是在晶圓的極端邊緣的芯片 - 這實際上是掛在晶圓如果他們全矩形 - 不會在所有被計算為我們的模擬。

隔離區中的一個重要特征是，它是3毫米的邊緣，無論晶片的直徑。這個事實意味著，在大直徑晶片具有更大的隔離區的區域。然而，由於總晶片表面面積的百分比，大的晶片具有其區域中排除區的比例較小。
所以，可以看到一個6英寸晶圓，有9 ×多毛的表面面積實際上已超過9 ×更多的淨面積（建築面積減去隔離區） 。優勢的結果6合晶片具有10.3×更多的淨面積，並且具有18.8×以上，既8中的晶片相比， 2 - 在晶片上。

也有考慮到LED的矩形覆蓋，它們不完全適合於晶圓的圓形 - 一些LED將通過部分過境進入禁區丟失。以類似的方式來隔離區，這些損失的合計為較小的晶片的比例更高。最後一個優點是顯示在圖表中所示的。 3 ，是基於45X45密耳（千分之一英寸）的LED，包括芯片之間的空間。其結果是略高的收益在芯片數量與面積相比 - 10.9 ×為6英寸和19.8 ×為8英寸晶圓。

在這一點上，已經看到，相對於一個2英寸晶圓6的直徑晶圓實際持有比經常引用的9 ×更多的LED芯片稍多。但現在我們必須考慮到，發光二極管生長在晶片組中的MOCVD反應器。
在LED外延工藝是所有進入的SSL產品的最終輸送的步驟中最昂貴和費時之一。的輸入是一組晶片，並且輸出的是數以千計的這些晶片的LED。我們追求的回答是如何切換到大直徑將改變外延工藝後的LED數量。當然，收益率 - 那正常芯片的措施 - 也很重要，但我們會看看這以後。

已經說過，不應該期望計數芯片你外延後得到了9倍跳，現在我們就會明白為什麼。其中最主要的原因是，那麼多的小直徑的晶圓可以容納在反應室。在一個典型的MOCVD反應器的配置， 56 2中的晶片可以被加載。在同一反應器中只有8 6 - 在晶片將適合。這是7:1支持一個小直徑的比率。

所以，簡單地甚至在最後的計數突破，每6晶圓需要保持7 ×更多的LED芯片比單2 - 晶圓。但是已經看到，一個6-晶圓幾乎11 ×更多的LED芯片。把在其他方面， 55 ％的6 -in配置結果更多的LED芯片（ 1.55倍）。這是我們一直在尋找最終的真正優勢。雖然這是比9× （ 900 ％）的數字，我們開始要少得多，它仍然是在LED芯片你的時間和金錢用於MOCVD運行成本相同數量非常顯著改善。您可以為小型和大直徑矽片及彼等各自的籌碼比較典型的MOCVD的布局。


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