對氧化鋅外延片的藍寶石襯底退火MOCVD生長的影響
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：27 十二月 2013
- 作者 Cloudy
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藍寶石襯底上用金屬有機物化學氣相沉積（MOCVD）外延生長的氧化鋅薄膜品質的退火效應進行了研究。通過高溫
退火形成在藍寶石（α-Al2O3）的襯底表面的原子臺階用原子力顯微鏡（AFM）分析。藍寶石襯底上的氧化鋅薄膜的退火效應通過X-射線衍射（XRD），原子力顯微鏡和光致發光（PL）的測量進行了研究。實驗結果表明，膜品質有顯著影響的藍寶石襯底表面的退火處理。給出了藍寶石襯底的最佳退火溫度。
一個非常薄的氧化鋅濺射層被新引入作為中間層，得到外延用CVD法生長在藍寶石襯底上的氧化鋅膜的光滑表面。通過用ZnO-H2-H2O-O2的CVD系統中，氧化鋅膜生長在藍寶石襯底上，而氧化鋅薄膜生長在藍寶石襯底上。作為生長ZnO薄膜的表面十分光滑，光束可以很容易地夫婦和傳播到氧化鋅薄膜波導。
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