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從形狀的元件的圓頂藍寶石的生長過程中裂紋的產生和避免

失效機理提出為了藍寶石圓頂從形狀的元件在生長過程中，解釋裂紋的產生和傳播。根據這個模型， 10微米的氣泡膨脹引起的滑移位錯（奧羅萬的型號） ，最多為其裂紋發起的臨界尺寸。講的生長過程的數值模擬解釋了裂紋如何傳播第一垂直（V型裂紋）然後水準（H型裂紋） 。基於塑性應變弛豫甲判據，以確定生長參數（牽引和旋轉速度）與所測量的溫度梯度在晶體中的函數定義。這導致了無裂紋的藍寶石半球達50毫米的直徑，可用於紅外球坯的生長。

使用三氯化鋁和氨氣作為在溫度範圍從950到1100℃的源氣體的氮化鋁的藍寶石襯底上通過氫化物氣相外延（HVPE ）生長進行了研究結果發現，全寬在X射線衍射（XRD）的半最大值（FWHM）值搖擺的，並查看了c軸取向的氮化鋁層的MATHML源面隨生長溫度的下降曲線。氮化鋁層呈現出鏡面般的表面可以生長在1100℃下為1.7微米/小時的生長速度。生長率，發現增加而增加三氯化鋁的輸入分壓，並與三氯化鋁注射噴嘴的端部和所述藍寶石襯底之間的距離減小（L）。增速達到122微米/小時， 2.0× 10-3大氣壓的氯化鋁輸入分壓和查看MATHML源，但結晶品質變差，當增長率上升超過10微米/小時。


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