藍寶石長晶爐的真空系統構造
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：21 十一月 2013
- 作者 Cloudy
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實用新型涉及藍寶石石長晶爐的真空系統，其中包括一個負壓管，真空管線連接到吾人藍寶石長晶爐。通過分子泵
超過6個複合分子泵8的下端的真空管被連接到接手六分子泵之間設置的旋轉擋板閥，超過6個分子泵和化合物分子泵。通過卡鉗固定螺釘所述真空管線，所述化合物分子泵被連接到真空的下端排氣出口管的真空排氣導管上設置有第一電磁閥的出口，所述第一電磁閥後真空出口管的真空排氣的排氣管連接的I支路管線，在排氣旁通管道3之間設置有一第二電磁閥。
真空通道和介面上安裝的各種儀器中，用於打開和關閉旁通排氣的排氣第3行，第3行第2電磁閥繞過真空系統的初始操作是藍寶石晶體生長爐預抽真空，真空度達到一定程度之前，開放的複雜分子泵，用於打開和關閉的抽真空系統，四個小的旋轉擋板閥的旋轉擋板閥，整體而言可以進入殼體，增加分子泵的整體美感超過六固定旋轉插板閥4和複合分子泵，從介面過渡的作用。的複合分子泵8為提高真空泵的容量，額定的工作真空度要求。真空出口管連接的真空系統和真空泵抽真空。
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