藍寶石晶體生長爐的真空系統
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- 分類：藍寶石長晶爐-钼制品新聞
- 發佈於：20 十一月 2013
- 作者 Cloudy
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藍寶石晶體生長爐的真空系統，真空系統包括真空連接到藍寶石晶體生長爐體內的管道。其特徵在於：真空的管道
的下端通過分子泵的連接管連接的化合物分子泵，一個旋轉型閘門閥被配置在真空管道和分子泵的連接管之間的化合物。分子泵的下端連接有一個真空出口的排氣管道的第一電磁閥被佈置在真空出口空氣的排氣管道的排氣旁通管道之間連接有真空出口空氣的排氣管道和真空管道，其被佈置後面的第一電磁閥以及被佈置在排氣旁通管道的第二電磁閥。的真空系統的優點是，可以確保藍寶石晶體生長爐系統的穩定運行。
藍寶石丹涇爐真空系統包括真空通道中，真空通道被連接到所述藍寶石丹涇爐體。其特徵在於，所述真空通道通過分子泵管的下端被連接到多工分子泵，真空通道和分子泵管的設置閥之間的旋轉門，複合分子泵的出口連接到真空吸管，真空排氣出口管上設置有第一電磁閥，真空出口的排氣管和真空線後面的第1電磁閥之間連接有排氣旁通管，排氣旁通管道的第2電磁閥有設置。
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