先進熱控長晶法淺析

藍寶石產業的迅速發展得益於LED產業的需求,目前投資藍寶石長晶的廠商眾多,而LED的應用已放緩,藍寶石平藍寶石長晶爐片基板已供過於求,其價格從2010年的最高30美元降至目前的8~9美元。

藍寶石產業的迅速發展得益於LED產業的需求,目前投資藍寶石長晶的廠商眾多,而LED的應用已放緩,藍寶石平片基板已供過於求,其價格從2010年的最高30美元降至目前的8~9美元。同時藍寶石基板也面臨矽基板的競爭,東芝與普瑞光電(Bridgelux)合作的矽基板LED晶片,預計將於今年10月量產,由於矽基板成本較低且容易獲得大尺寸,一旦矽基板LED良率和性能達到與藍寶石基板LED相媲美的程度,藍寶石基板將面臨更為嚴峻的挑戰。

目前LED用藍寶石長晶方法主要包括提拉法、熱交換法、泡生法、垂直水準梯度結晶法(VHGF)和先進熱控法。日本的Kyocera公司、臺灣地區的中美矽晶製品股份有限公司、重慶四聯藍寶石有限公司均實現了4英寸藍寶石的提拉法生長,但獲得更大尺寸較為困難,長晶時間短和C向生長是其主要優勢;熱交換法為原Crystal System公司開發,在生長大尺寸藍寶石方面有較強優勢但成品率較低(45%),一次性鉬坩堝也增加了生產成本,同時生長的藍寶石呈粉紅色,影響LED透光率;泡生法為目前最為廣泛採用的方法,該法可以生長大尺寸晶錠,長晶時間較短,但隨著晶錠尺寸的增大,成品率也隨之降低。韓國STC公司採用VHGF法,A向生長長方體藍寶石然後進行C向掏棒,目前只能做到6英寸,由於該方法對熱場要求較為特殊,熱場設計是生長更大尺寸藍寶石的瓶頸。


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