大尺寸藍寶石坩埚下降法生長爐
- 詳細內容
- 分類：钼的知識
- 發佈於：27 十二月 2012
- 作者 CCJ
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大尺寸藍寶石坩堝下降法生長爐
一 種大尺寸藍寶石坩堝下降法生長爐，包括爐體、熱場、真空系統、保護氣氛充氣系統、爐內氣氛控制系統，設置在熱場內腔的鉬坩堝通過坩堝下保溫托與坩堝杆連 接，坩堝杆與主升降機構相連，鉬坩堝籽晶管對應的下保溫托、坩堝杆設有貫通孔，通孔內設置的副升降杆從坩堝杆底部穿出，幷與副升降機構相連。通過副升降機 構控制副升降杆的升降，從而爲晶體生長提供足够的溫度梯度，提高晶體氣泡排除能力，减少晶體內部的缺陷。通過氣氛控制系統，確保爐內保護氣氛符合要求幷保 持穩定，避免了鉬坩堝揮發後雜質的産生。從而有效提高晶體生長質量，生長出規則圓柱形的大尺寸優良藍寶石晶體。
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