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鉬離子注入對金剛石附著性能的影響

隨著化學氣相沉積（CVD）金剛石薄膜生長技術的發展，人們對金剛石薄膜的應用研究也日益重視。目前，在金剛石塗層與硬質合金刀具中存在的主要問題是金剛石與硬質合金刀具之間的附著力較差。而鉬離子的注入能夠較好的改善這種情況。鉬離子對金剛石附著性能產

1）提高金剛石塗層的形核密度，增大塗層與基體之間的實際接觸面積。鉬離子注入對基體的轟擊和注入效應，可使基體表層的晶格發生畸變，在表面產生大量均勻分布的微缺陷，從而提高金剛石塗層的形核密度。
2）鉬離子注入後，基體表層的Mo能與擴散而至的Co形成穩定的化合物CoMoO₃，抑制了單質Co的催石墨化作用。
3）鉬離子注入能使部分鉬離子鑲嵌在硬度合金基體表面，這些鉬離子在金剛石形核初期被碳化，從而在界面處形成Mo—C鍵，進一步提高金剛石塗層的附著力。

CVD金剛石

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