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熱處理溫度對鉬靶材微觀組織和性能的影響

由於鉬是一種高熔點（2620℃）金屬，熱處理溫度對鉬靶材微觀組織和性能也有很大的影響。具體為以下幾點：

1、變形量相同的鉬靶材，在1050℃~1300℃經1h熱處理之後均發生了再結晶，隨著熱處理溫度的升高，鉬靶材再結晶晶粒尺寸逐漸增大，發現經1200℃熱處理的靶材的晶粒尺寸分布最均勻，長徑比一致性最佳，有利於在濺射鍍膜時獲得較高的濺射速率；
2、鉬靶材的硬度均值在250~272HV，而靶材硬度隨熱處理溫度的升高呈下降趨勢，在經1200℃熱處理的靶材具有最佳的磁控濺射放電性能。

所以，熱處理溫度在1200℃最佳，有利於獲得較高質量的鉬靶材。

鉬靶材

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