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大功率陶瓷發射管柵極用TZM薄板

大功率陶瓷發射管柵極用TZM薄板是採用粉末冶金法制取板坯，坯料再經軋製而生產出來的。先經酸刻蝕成網，再經電鍍高溫定型焊接等工序而成發射管柵極，其使用溫度高達1300-1400攝氏度，使用壽命要求長達幾千小時，故此類薄板對品質要求非常嚴格，必須保證（1）.無起皮分層;（2）.組織均勻，酸刻蝕徹底，網格清晰，不產生粘連和鋸齒現象;（3）.高溫定型後，網柵不能變形和脆斷.具體的操作方式如下：

1.細化氫化鈦粉和氫化鋯粉的粒度(不超過5微米)，適當提高燒結溫度(控制在2050攝氏度左右) ，可生產適合軋製TZM薄板的板坯，後續冷軋過程中可明顯減少起皮缺陷的產生。

2.燒結板坯於1350-1450攝氏度開坯可保證軋製正常進行。

3.軋製總加工率達到70%厚度8毫米時，進行1550攝氏度退火處理，可避免冷軋過程中分層現象的產生.

按上述工藝生產的大功率陶瓷發射管柵極用薄板室溫和高溫力學性能滿足要求。

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